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无尘室，也称洁净室，是指一个具有低污染水平的环境，这里所指的污染来源有灰尘，空气传播的微生物，悬浮颗粒，和化学挥发性气体。更准确地讲，一个洁净室具有一个受控的污染级别，污染级别可用每立方米的颗粒数，或者用大颗粒大小来厘定的。低级别的洁净室通常是没有经过消毒的（如没有受控的微生物），更多的是关心空气传播的灰尘。无尘室的定义：空间范围内之空气中的微尘粒子等污染物排除，而得到一个相当洁净的环境。亦即：这个环境中的微尘粒子相当少，称之为洁净室。普通空调房间侧送侧回、送风形成贴附射流就是空调房间典型的气流组织方案。空调房间气流组织的特点是除了普通存在送风卷吸面上升的气流外，还有很多的涡流。这种上升气流与尘、菌受重力作用向下运动的方向相逆，尘、菌将随气流扬起，一些颗粒较大的尘粒将明显滞后于气流，在室内滞留时间将更长。涡流也助长了尘、菌在室内的回旋，而不是快捷地随气流从室内离去。这都是与洁净空气流组织的原则不同所致。洁净车间的微尘控制对于制药厂来说是必须重视和严格实施的。为了有效地控制洁净车间的环境,则必须大限度的控制产生微粒和微生物的微尘源。
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洁净技术和装备的国际市场十分巨大，日本到80年代末、90年代初洁净技术和设备的销售额已突破35亿美元。美国和西欧等先进洁净设备和基础部件的销售额已达73亿美元。据中国电子专用设备工业协会统计，我国主要八家大的净化设备厂的销售额1990年为8217万元，还不足1亿，1993年达到14495万元，占国际市场销售额的0．34％。但随着我国高新技术的迅速发展和微电子工业、光纤工业、液晶显示工业及光电器件工业、生物工程、医药工业的发展，我国潜在的巨大的洁净技术产品市场，以每年40％~50％的增长速度在增加。有些洁净室造价虽然不高，但是运行之后发现：能耗高、设备经常出故障、维修保养麻烦。这些问题都和设计有关。优秀的净化工程公司一定要一流的设计团队，只有设计好了，洁净室才有保障。有两种不良的现象：一是一味的给建设方推荐昂贵的洁净设备，“不要zui适合的、只要zui贵的”，比如国内生产的高效过滤器也可以，却非要推荐是国外进口的;一是用欺瞒的方式，使用较差的洁净设备，反正建设方也没有专业人才，看不出来。有的洁净工程公司专业性不够，连个高效过滤器都安不好，安装之后出现“漏”的情况。还有净化工程公司把工程包给多家，这样在施工中各自为政，返工的、将就过去的都有发生。设计各房间内照明，紫外灯独立控制，并均由电气控制箱控制，再由总配电柜集中控制。室内照明均采用密闭照明灯组。插座盘均采用嵌入式。室内无明线敷设。
美国在台湾的TSMCS新厂已建成第四代管道式洁净室总面积达10000平方米。我国使用的0，1微米十级洁净室主要依赖从国外进口。由于高洁净级别的洁净室造价十分昂贵，0．1微米十级洁净室每平方米造价高达1万美元以上。在大规模集成电路制造装备的投资中洁净厂房占有相当高的比例，这与集成电路工艺不断更新，产品更新换代周期越来越快的发展趋势不相适应，严重制约了大规模集成电路技术的发展。美国ASYST公司、德国MW公司发展的使用隔离技术的亚微米生产微环境系统设备和技术在近几年中得到广泛采用。该项新的洁净技术在100级洁净度的洁净厂房中，采用工艺设备局部使用隔离技术的微环境，把投资比例压缩到级别高的微环境，消除了操作者与工艺设备运行的二次污染源产生对集成电路成品率和可*性的影响作用。使用抗静电彩钢板也可大大降低静电的危害。抗静电彩钢墙板对耗散静电负荷有明显效果，抗静电机房彩钢墙板表面的抵抗值10的5—8次方欧姆，静电荷减弱至1秒以下，这样确保防静电墙板品防静电性能和用户使用的安全性。采用防静电材料进行无尘车间装修是做抗静电是基础的设计，也是有效的方法，能将无尘车间内的静电危害降到低。在后期无尘车间的日常维护中，也有许多有用的防静电妙招。比如，控制好无尘车间内部的湿度在合理范围内，有合理的湿度能降低静电的产生。使用离子风枪、离子头、离子棒等设施，使在一定范围内防止静电产生。使用防静电盛放器，此类盛放器有良好导电性能，能有效防止静电的产生。当然，有条件的也可放在金属盛放器内或用金属箔包装。操作人员可以佩戴防静电手带，这种手带应有良好的接地性能，也是不错的防静电措施。因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50时易生锈。
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